硅烷傳感器（SIH4傳感器）

一、硅烷傳感器（SIH4傳感器）概述：
     硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無(wú)法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽(yáng)電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上*的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。
         現(xiàn)在電子氣體的使用越來(lái)越多，半導(dǎo)體的生產(chǎn)、LED的生產(chǎn)、晶體加工、精密加工等行業(yè)帶來(lái)很多麻煩，這些毒氣的檢測(cè)都離不開(kāi)SIH4.
 

二、選型表：

 

三、應(yīng)用領(lǐng)域：
  生產(chǎn)過(guò)程安全檢測(cè)、環(huán)境污染檢測(cè)、大氣環(huán)境檢測(cè)、垃圾焚燒煙氣監(jiān)測(cè)

四、技術(shù)參數(shù)：
 

    產(chǎn)品名稱(chēng)：高精度硅烷(SIH4)傳感器  SIH4/C-50

    產(chǎn)品主要參數(shù)：

        測(cè)量范圍：0～50ppm

        zui大負(fù)載：ND

        工作壽命：空氣中2年

        輸出信號(hào)：1000±300nA/ppm          

        分辨率：0.2 ppm

        溫度范圍：-40°C to 45°C

        壓力范圍:標(biāo)準(zhǔn)大氣壓± 10%

        響應(yīng)時(shí)間(T90)：﹤60sec

        相對(duì)濕度范圍：15%to90%

        典型基線(xiàn)范圍（純凈的空氣， 20 ℃ ）：0 to -1ppm

        zui大零點(diǎn)漂移（20°C to 40°C）：ND

        長(zhǎng)期輸出漂移：﹤2% signal loss/months

        推薦加載電阻：10 Ω

        偏置電壓：不需要

    產(chǎn)品名稱(chēng)：高精度硅烷(SIH4)傳感器  SIH4/M-50

    產(chǎn)品主要參數(shù)：

        測(cè)量范圍：0～50ppm

        zui大負(fù)載：ND

        工作壽命：空氣中2年

        輸出信號(hào)：500±60nA/ppm          

        分辨率：0.3 ppm

        溫度范圍：-40°C to 50°C

        壓力范圍:標(biāo)準(zhǔn)大氣壓± 10%

        響應(yīng)時(shí)間(T90)：﹤60sec

        相對(duì)濕度范圍：15%to90%

        典型基線(xiàn)范圍（純凈的空氣， 20 ℃ ）：0 to -1ppm

        zui大零點(diǎn)漂移（20°C to 40°C）：ND

        長(zhǎng)期輸出漂移：﹤2% signal loss/months

        推薦加載電阻：10 Ω

        偏置電壓：不需要

    產(chǎn)品名稱(chēng)：高精度硅烷(SIH4)傳感器  SIH4/S-50-S

    產(chǎn)品主要參數(shù)：

        測(cè)量范圍：0～50ppm

        zui大負(fù)載：ND

        工作壽命：空氣中2年

        輸出信號(hào)：1000±300nA/ppm          

        分辨率：0.2 ppm

        溫度范圍：-40°C to 45°C

        壓力范圍:標(biāo)準(zhǔn)大氣壓± 10%

        響應(yīng)時(shí)間(T90)：﹤60sec

        相對(duì)濕度范圍：15%to90%

        典型基線(xiàn)范圍（純凈的空氣， 20 ℃ ）：0 to -1ppm

        zui大零點(diǎn)漂移（20°C to 40°C）：ND

        長(zhǎng)期輸出漂移：﹤2% signal loss/months

        推薦加載電阻：10 Ω

        偏置電壓：不需要

    產(chǎn)品名稱(chēng)：高精度硅烷(SIH4)傳感器  SIH4/S-50

    產(chǎn)品主要參數(shù)：

        測(cè)量范圍：0～50ppm

        zui大負(fù)載：ND

        工作壽命：空氣中2年

        輸出信號(hào)：1000±300nA/ppm          

        分辨率：0.2 ppm

        溫度范圍：-40°C to 45°C

        壓力范圍:標(biāo)準(zhǔn)大氣壓± 10%

        響應(yīng)時(shí)間(T90)：﹤60sec

        相對(duì)濕度范圍：15%to90%

        典型基線(xiàn)范圍（純凈的空氣， 20 ℃ ）：0 to -1ppm

        zui大零點(diǎn)漂移（20°C to 40°C）：ND

        長(zhǎng)期輸出漂移：﹤2% signal loss/months

        推薦加載電阻：10 Ω

        偏置電壓：不需要

五、 結(jié)構(gòu)：

 

六、 圖片：